EBC 1400

Excelente recubrimiento de película delgada

 

Información

El EBC 1400 es la solución de recubrimiento compacta de SCHNEIDER para la fabricación en serie y los grandes laboratorios de Rx. La más moderna tecnología de procesos, combinada con componentes de comprobada eficacia, garantiza tiempos de proceso más cortos y convierte al EBC 1400 en un potente y confiable sistema de recubrimiento por lotes.

El EBC 1400 está equipado con bombas turbo-moleculares de levitación magnética que permiten un importante ahorro de energía. Su sistema EBG de alto rendimiento y la configuración del crisol proporcionan una flexibilidad total del material de evaporación, ya sea en un domo segmentado o en un sistema de giro. Las propiedades de las capas se optimizan con la deposición asistida por iones utilizando argón u oxígeno para garantizar las mejores calidades de proceso para lentes orgánicas o de vidrio. Gracias al diseño optimizado de la cámara de vacío y de las capas de protección, los ciclos de limpieza se acortan y se minimizan, lo que resulta en menos tiempo de inactividad durante la producción.

Datos técnicos

vacío

pre-vacío: 280 m3/h
alto-vacío: 2 x 4200 l/s

fuente de iones

40 – 300 V y hasta 3.5 A (1000 W)
2 gases (O2 y Ar)

EBG

8 kV / 500 mA / 12 correas

calentador de sustrato

hasta 200°C (8000 W)

XTAL

6 MHz dos cabezas

opciones

trampa Meissner con enfriador de cristale
calentador superior para lentes de vidrio
sistema de giro interno

consumo de energía

30 kVA em promedio

peso de la máquina

aprox. 5500 kg (12126 lb.)

dimensiones ( ancho x profundidad x altura)

aprox. 2742 x 2478 x 2642 mm (108 x 98 x 104 pulgadas)

espacio de movimiento ( ancho x profundidad x altura)

aprox. 4357 x 5991 x 3500 mm (172 x 236 x 138 pulgadas)

capacidad 5 segmento/domo - diámetro de la lente

Ø 60 mm – 320 lentes
Ø 65 mm – 270 lentes
Ø 70 mm – 240 lentes
Ø 75 mm – 210 lentes
Ø 80 mm – 180 lentes

Todos los datos están sujetos a cambios sin previo aviso. Por favor, verifique los detalles con SCHNEIDER.

Descargas

  EBC 1400
PDF , 394 KB