Informação
A EBC 900 é a solução avançada de tratamento da SCHNEIDER para laboratórios de Rx de médio e grande porte. Avançada tecnologia de processo e componentes testados são combinados para permitir tempos de processo mais curtos e fazem da EBC 900 um sistema potente e confiável de tratamento em lote. O sistema EBG de alto desempenho e a configuração do crucible proporcionam total flexibilidade de evaporação, seja em um domo segmentado, seja no sistema flip-over.
As propriedades da camada são otimizadas por meio da deposição iônica assistida usando gases Ar ou O2 para garantir as melhores qualidades de processo em lentes orgânicas ou minerais. Com o design otimizado da câmara de vácuo e dos escudos de proteção, as mudanças dos escudos não apenas são minimizadas, mas também podem ser realizadas de forma mais rápida e mais fácil, resultando em menor tempo parado durante a produção. O projeto modular permite ampliações para exigências de maior produtividade.
EBC 900
Sistema de domo conversível
O sistema flip-over da EBC 900 (incluído na configuração básica) pode ser convertido em um domo de segmento em poucos passos simples.
Avançada tecnologia de processo
Deposição iônica assistida (Ar/O2), filmes finos antiestáticos, aplicação de filmes hidrofóbicos e oleofóbicos. Processos personalizados mediante solicitação.
Beneficios
- Sistema econômico, de tamanho médio, para aplicação de filmes finos a vácuo
- Alta produtividade
- Tecnologia testada e confiável
- Tratamento de altíssima qualidade
- Aplicação de filmes hidrofóbicos e oleofóbicos internos
- Interface de Fácil utilização
- Fácil manutenção
Dados técnicos
vácuo
pré-vácuo: 280 m3/h
alto-vácuo: 2100 l/s (N2) ou 2 x 2100 l/s (N2) incl. um sistema de válvula de gaveta
fonte de íons
40 – 300 V e até 3.5 A (400 W)
2 gases (O2 e Ar)
EBG
8 kV / 375 mA / 12 bolsos
aquecedor de substrato
até 120°C (2000 W)
XTAL
6 MHz cabeça única
opções
Meissner-trap com cryo-cooler
domo com 3 segmentos
2nd Bomba Turbo Molecular
Evaporador Termal (Boat)
Cabeça Dupla para Cristal
consumo de energia
20 kVA em média
peso da máquina
aprox. 1800 kg (3969 lb.)
dimensões (larg. x prof. x alt.)
aprox. 1850 x 1600 x 2155 mm (73 x 63 x 85 pol.)
capacidade flip-over - diâmetro da lente
Ø 65 mm – 72 lentes
Ø 70 mm – 54 lentes
Ø 75 mm – 54 lentes
Ø 80 mm – 36 lentes
Todos os dados estão sujeitos a alterações sem aviso prévio. Favor verificar os detalhes junto à SCHNEIDER.