Informação
A EBC 1400 é a solução compacta de tratamento da SCHNEIDER para produção em massa e para grandes laboratórios de Rx. A avançada tecnologia de processo, combinada com componentes testados, permitem os tempos de processo mais curtos do mercado e fazem da EBC 1400 um sistema potente e confiável de tratamento em lote.
A EBC 1400 é equipada com bombas turbomoleculares de eixos magnéticos sem atrito, o que permite uma significativa economia de energia elétrica. O sistema EBG de alto desempenho e a configuração do crucible proporcionam total flexibilidade de evaporação – seja em um domo segmentado, seja no sistema flip-over. As propriedades da camada são otimizadas por meio da deposição iônica assistida usando Argônio ou Oxigênio para garantir as melhores qualidades do processo em lentes orgânicas ou minerais. Com o design otimizado da câmara de vácuo e dos escudos de proteção, os ciclos de limpeza são reduzidos e minimizados, com menor tempo parado durante a produção.
EBC 1400
Maquinário
As bombas turbomoleculares de eixos magnéticos sem atrito e a integração da bomba pré-vácuo fazem da EBC 1400 uo sistema mais eficiente quanto ao consumo de energia elétrica, com as menores dimensões.
Sistema conversível
A EBC 1400 pode ser convertida em um sistema flip-over com alguns simples passos.
Avançada tecnologia de processo
Deposição iônica assistida (Ar/O2), soluções antiestáticas, hidrofóbicas, oleofóbicas e personalizadas podem ser processadas.
Beneficios
- Sistema grande e econômico de tratamento a vácuo
- Grande economia de energia elétrica
- Pequenas dimensões
- Alta produtividade – até 320 lentes/lote
- Tecnologias testadas e confiáveis
- Tratamento de altíssima qualidade
- Facilidade de operação
- Longos intervalos entre as manutenções
Dados técnicos
vácuo
pré-vácuo: 280 m3/h
alto-vácuo: 2 x 4200 l/s
fonte de íons
40 – 300 V e até 3.5 A (1000 W)
2 gases (O2 e Ar)
EBG
8 kV / 500 mA / 12 bolsos
aquecedor de substrato
até 200°C (8000 W)
XTAL
6 MHz cabeça dupla
opções
Meissner-trap comcryo-cooler
aquecedor superior para lentes minerais
sistema flip-over
consumo de energia
30 kVA em média
peso da máquina
aprox. 5500 kg (12126 lb.)
dimensões (larg. x prof. x alt.)
aprox. 2742 x 2478 x 2642 mm (108 x 98 x 104 pol.)
espaço para movimentação (larg. x prof. x alt.)
aprox. 4357 x 5991 x 3500 mm (172 x 236 x 136 pol.)
capacidade 5 segmentos/domo - diâmetro da lente
Ø 60 mm – 320 lentes
Ø 65 mm – 270 lentes
Ø 70 mm – 240 lentes
Ø 75 mm – 210 lentes
Ø 80 mm – 180 lentes
Todos os dados estão sujeitos a alterações sem aviso prévio. Favor verificar os detalhes junto à SCHNEIDER.